沸石轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)的組成

 

沸石吸附濃縮轉(zhuǎn)輪燃化系統(tǒng)系運(yùn)用吸附－脫附－濃縮燃化等三項(xiàng)接連程序，其設(shè)備***性合適處理高流量、低污染物濃度及含多物種之VOCs 廢氣，其主要運(yùn)用于排放較淡薄且挨近周界溫度之污染物工業(yè)，典型運(yùn)用如影印、涂裝制程及半導(dǎo)體工廠等相關(guān)工業(yè)。

 

沸石吸附轉(zhuǎn)輪組合為一中心軸承與軸承周圍之支撐圓形結(jié)構(gòu)支撐著轉(zhuǎn)體，轉(zhuǎn)體由沸石吸附介質(zhì)與陶瓷纖維制成。轉(zhuǎn)輪上包括用以分隔處理廢氣及處理后釋出潔凈氣體之密封墊，其原料為需能接受VOCS 腐蝕性及高操作溫度之柔軟資料制成(一般為硅)。密封墊將蜂巢狀沸石吸附轉(zhuǎn)輪組合阻隔成根本之吸附區(qū) 及再生脫附區(qū)，但為進(jìn)步轉(zhuǎn)輪之吸附處理才能，則常見(jiàn)于前二區(qū)間加一阻隔冷卻區(qū)。一般吸附區(qū)為較***，而脫附區(qū)及冷卻區(qū)則為兩個(gè)較小且面積持平之處理側(cè)。有時(shí)為***別需求亦可分紅更多串聯(lián)區(qū)；而吸附轉(zhuǎn)輪由一組電動(dòng)驅(qū)動(dòng)設(shè)備用以旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)輪，故轉(zhuǎn)輪處理時(shí)為可變速、且可操控每小時(shí)旋轉(zhuǎn)2 至6 轉(zhuǎn)之能力。

 

工廠所排放出之VOCS 廢氣進(jìn)入系統(tǒng)后，***階段系通過(guò)疏水性沸石所組成之轉(zhuǎn)輪，VOCS 污染物質(zhì)***先于轉(zhuǎn)輪上進(jìn)行吸附；***二階段之脫附程序是由與后端燃化系統(tǒng)熱交換后預(yù)熱之經(jīng)冷卻區(qū)處理后廢氣(約180 至250 ℃)，使其通入轉(zhuǎn)輪內(nèi)運(yùn)用高溫將有機(jī)物脫附下來(lái)，此刻出流污染物濃度***約可操控為入流廢氣之5 至20 倍左右，而脫附下來(lái)之有機(jī)物則可于***三階段進(jìn)行溫度于700℃以上之燃化或進(jìn)行冷凝收回再運(yùn)用等程序，如此能夠削減后續(xù)之廢氣處理單元尺寸、操作經(jīng)費(fèi)及設(shè)備初設(shè)費(fèi)用。

 

沸石轉(zhuǎn)輪之處理單元如下：

（1）沸石轉(zhuǎn)輪的機(jī)體是由一些***定的固體基材涂布上一層吸附劑粉末組成，基材是以陶瓷或玻璃或活性碳纖維經(jīng)燒結(jié)所做成，其間陶瓷纖維因具有耐高溫、熱穩(wěn)定性高、可水洗、不行燃及耐酸堿的***性而***受廣泛運(yùn)用，吸附劑的品種則視欲處理的氣體成分而有所不同，一般可選用活性炭、沸石等。轉(zhuǎn)輪厚度一般為25cm-45cm。

 

（2）沸石轉(zhuǎn)輪之基質(zhì)為陶瓷纖維外表涂布一層吸附劑，一般為活性炭或疏水性沸石，制成蜂巢狀圓形轉(zhuǎn)輪，再分為兩個(gè)區(qū)域，分別為吸附處理區(qū)及再生脫附區(qū)，但為進(jìn)步轉(zhuǎn)輪之吸附才能，有時(shí)會(huì)設(shè)計(jì)于兩區(qū)之間多一個(gè)冷卻區(qū)，一般吸附區(qū)較***，脫附區(qū)與冷卻區(qū)為兩個(gè)較小且面積持平之處理區(qū)域。

（3）熱收回設(shè)備：將VOCs燃燒或氧化后之潔凈空氣其溫度高達(dá)500-700℃，將此部分空氣經(jīng)由熱交換器將熱能加以收回，一起將潔凈空氣溫度下降后將其導(dǎo)至轉(zhuǎn)輪脫附區(qū)為轉(zhuǎn)輪進(jìn)行脫附效果；若溫度太高則轉(zhuǎn)輪或許發(fā)生燃燒，因而進(jìn)入轉(zhuǎn)輪之溫度不行太高，一般會(huì)設(shè)置兩段熱收回設(shè)備并增設(shè)一鼓風(fēng)機(jī)導(dǎo)入新鮮空氣與燃燒后之空氣混合，以操控脫附溫度在180-220℃之范圍內(nèi)。為處理VOCs廢氣，除了沸石吸附濃縮轉(zhuǎn)輪燃化系統(tǒng)外，并可在制程端如光阻涂布機(jī)臺(tái)或去光阻制程廢氣出口端加裝冷凝器，預(yù)先分流處理高沸點(diǎn)VOCs。