光電產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中VOCs的排放

今天，小編將繼續(xù)為***家介紹光電產(chǎn)品制造業(yè)產(chǎn)生廢氣污染的五***類產(chǎn)品的制造工藝：半導(dǎo)體集成電路、TFT-LCD、led、印刷電路板（PCB）和電子終端產(chǎn)品。這些也是我們廢氣處理中經(jīng)常遇到的問題。

① 半導(dǎo)體集成電路制造過(guò)程中VOCs的排放主要來(lái)源于光刻和顯影過(guò)程。這些過(guò)程中，使用有機(jī)溶液（如異丙醇）清潔晶圓表面，揮發(fā)的廢氣是有機(jī)廢氣的來(lái)源之一。同時(shí)，光刻工藝中使用的光刻膠（photoresist）中含有揮發(fā)性有機(jī)溶劑，如乙酸丁酯等，晶圓加工過(guò)程中產(chǎn)生的有機(jī)廢氣也揮發(fā)成氣體。

（2） TFT-LCD生產(chǎn)過(guò)程中VOCs的排放包括檢測(cè)和測(cè)試。TFT-LCD的制造工藝可達(dá)到100多道工序。生產(chǎn)過(guò)程中使用了多種化學(xué)有機(jī)溶劑和***殊氣體，產(chǎn)生了***量的VOCs和復(fù)雜的組分。TFT-LCD面板生產(chǎn)過(guò)程中VOCs的排放主要集中陣列工程和彩色薄膜工程。陣列工程中的光刻（膠合、曝光和顯影）和黑色矩形BM膜制造、彩色矩陣膜形成（紅、綠、藍(lán)、RGB）、保護(hù)膜形成、MVA膜、彩色膜工程中的PS（光間隔）膜形成是VOCs產(chǎn)生的主要來(lái)源。TFT-LCD生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的VOCs主要是異丙醇，其次是丙酮、單甲醚丙二醇和單甲醚丙二醇醋酸酯，占VOCs總量的90%以上。

③ LED電子元器件生產(chǎn)過(guò)程中VOCs的排放LED電子元器件生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的VOCs污染物主要來(lái)自基板處理和光刻。LED生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的VOC種類主要有三氯乙烯、丙二醇醚、異丙醇、丙酮、丁酮等。

④ PCB生產(chǎn)過(guò)程中，單面、雙面和多面PCB生產(chǎn)過(guò)程都會(huì)產(chǎn)生VOCs。VOCs的加工環(huán)節(jié)比較集中，主要來(lái)自貼膜、干燥、印刷等行業(yè)。揮發(fā)性有機(jī)化合物的排放類型主要包括甲醛、醇類（乙醇、異丙醇、丁醇、丙醇）、酮類（丁酮）和酯類。貯存過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生一些揮發(fā)性有機(jī)物，乙酸乙酯的產(chǎn)生和排放是揮發(fā)性有機(jī)物的主要來(lái)源。

⑤ 電子終端產(chǎn)品制造過(guò)程中VOCs的排放電子終端產(chǎn)品制造過(guò)程中，VOCs的主要來(lái)源包括電路板清洗劑（采用有機(jī)溶劑型清洗劑）的有機(jī)廢氣、電路板三層防噴漆廢氣、，機(jī)器（底盤）噴漆廢氣、底盤注塑廢氣。這些廢氣來(lái)自站場(chǎng)局部排氣系統(tǒng)，具有排氣量***、濃度低的***點(diǎn)。